钙钛矿吸收层的制备方法及钙钛矿太阳能电池的加工方法

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摘要

本发明提供一种钙钛矿吸收层的制备方法及钙钛矿太阳能电池的加工方法。其中该钙钛矿吸收层的制备方法，包括如下步骤：在气体发生腔内形成含有气态有机源的工艺气或者含有无机源的工艺气，并控制工艺气的温度达到预设工艺温度；将工艺气自气体发生腔引入反应腔，使反应腔内的压力达到预设反应压力、温度达到预设反应温度；将载有无机薄膜的衬底置入反应腔内，使无机薄膜与气态有机源或无机源反应，从而在衬底上形成钙钛矿吸收层。本发明提供的钙钛矿吸收层的制备方法，在独立的密闭腔室内形成气态有机源或无机源以及进行气固反应，降低反应初期因气态有机源或无机源浓度不均所造成的影响，提高钙钛矿吸收层的质量。

基本信息

专利标题：

钙钛矿吸收层的制备方法及钙钛矿太阳能电池的加工方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110098333A

申请号：

CN201910380503.9

公开（公告）日：

2019-08-06

申请日：

2019-05-08

授权号：

CN110098333B

授权日：

2022-04-29

发明人：

冯治华李明

申请人：

蜂巢能源科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市金坛区华城中路168号

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

刘会景

优先权：

CN201910380503.9

主分类号：

H01L51/42

IPC分类号：

H01L51/42 H01L51/48