一种降低金刚线切割多晶硅棒单片线耗的方法
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摘要
本发明涉及一种降低金刚线切割多晶硅棒单片线耗的方法,所述方法为:测试多晶硅棒的杂质面积占比;根据杂质面积占比的不同对多晶硅棒进行分类,并使用不同的切割工艺对不同类的多晶硅棒进行金刚线切片。本发明根据每根多晶硅棒杂质含量不同的特性,以杂质面积占比为依据,分别以杂质面积0.51‰、1.15‰以及2.29‰为基准点进行分类,分类粘接后,选择与不同类别相适应的切割工艺与之配合进行切割,进而增加了金刚线切割多晶硅棒金刚石磨损的均匀性,降低单片线耗,提高切割良率。相对于现有工艺,本发明提供的方法平均单片线耗可降低6%‑30%,切割良率可达96.5%以上,具有良好的经济效益和应用前景。
基本信息
专利标题 :
一种降低金刚线切割多晶硅棒单片线耗的方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112192773A
申请号 :
CN201910611410.2
公开(公告)日 :
2021-01-08
申请日 :
2019-07-08
授权号 :
CN112192773B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
谷宁宁李飞龙
申请人 :
洛阳阿特斯光伏科技有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
巩克栋
优先权 :
CN201910611410.2
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2022-04-12 :
授权
2021-01-26 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20190708
申请日 : 20190708
2021-01-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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