真空阀监控系统以及方法
授权
摘要
本公开提供一种用于清洁以及检视环框架的真空阀监控系统以及真空阀监控方法。在一些实施例中，真空阀包括至少一个密封O形环以及位在真空处理腔室的配合表面上的压力监控带，其中所述压力监控带配置以在所述真空处理腔室的配合表面以及所述真空阀上的所述至少一个密封O形环的表面之间进行压力分布对映，以决定所述真空阀的关闭条件。
基本信息
专利标题 ：
真空阀监控系统以及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110778783A
申请号 ：
CN201910691330.2
公开（公告）日 ：
2020-02-11
申请日 ：
2019-07-29
授权号 ：
CN110778783B
授权日 ：
2022-04-05
发明人 ：
邱培诚
申请人 ：
台湾积体电路制造股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾新竹市
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
李琛
优先权 ：
CN201910691330.2
主分类号 ：
F16K37/00
IPC分类号 ：
F16K37/00
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K37/00
在阀或其他切断装置内或在其上的特殊装置，用于指示或记录其操作，或用于使能报警
法律状态
2022-04-05 ：
授权
2020-03-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16K 37/00
申请日 : 20190729
申请日 : 20190729
2020-02-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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