覆盖工具及其制造方法
授权
摘要
本发明提供覆盖工具及其制造方法，其是利用过滤电弧离子镀法在基材的表面覆盖类金刚石覆膜的覆盖工具的制造方法，包括以下工序：气体轰击处理工序：向炉内导入含氢气的混合气体，对所述基材的表面进行气体轰击处理的工序；以及覆盖工序：向气体轰击处理后的所述炉内导入5sccm以上且30sccm以下的氮气，一边减少向炉内导入的所述氮气的流量，一边使用石墨靶对所述基材的表面覆盖膜厚为0.1μm～1.5μm的类金刚石覆膜的工序。
基本信息
专利标题 ：
覆盖工具及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110616399A
申请号 ：
CN201910844177.2
公开（公告）日 ：
2019-12-27
申请日 ：
2014-03-27
授权号 ：
CN110616399B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
沙勒·阿布苏里克井上谦一
申请人 ：
日立金属株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘新宇
优先权 ：
CN201910844177.2
主分类号 ：
C23C14/06
IPC分类号 ：
C23C14/06 C23C14/32 C23C14/02 B21D37/01 B21D37/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-01-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/06
申请日 : 20140327
申请日 : 20140327
2019-12-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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