一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法
授权
摘要
本发明提供一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法，机械手上安装有至少三个晶圆限位器，每一晶圆限位器上均设置有能够对晶圆边缘进行限位的限位面，所述装置包括：支架和定位模块，支架位置可调的安装在机械手上，支架上设置有至少三个圆弧面，至少三个圆弧面同轴设置且分别与所述至少三个晶圆限位器的限位面相对应，圆弧面的半径小于晶圆半径；定位模块安装在支架上并可绕至少三个圆弧面的轴线转动，定位模块的径向末端设置有能与限位面相匹配重合的定位面。使用本发明装置和更换方法，更换后晶圆限位器所限定晶圆位置与更换前的同轴一致性能得到有效保证，不仅能够快速准确的更换晶圆限位器，而且不需要做机台位置的调整。
基本信息
专利标题 ：
一种机械手晶圆限位器更换装置和更换方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110808217A
申请号 ：
CN201911005511.1
公开（公告）日 ：
2020-02-18
申请日 ：
2019-10-22
授权号 ：
CN110808217B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
黄国计
申请人 ：
长江存储科技有限责任公司
申请人地址 ：
湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
代理机构 ：
北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈敏
优先权 ：
CN201911005511.1
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2020-03-13 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20191022
申请日 : 20191022
2020-02-18 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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