本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种深紫外微腔激光器。所述深紫外微腔激光器包括：椭圆腔体，以及位于所述椭圆腔体内的发光微米棒和激发光源；所述发光微米棒由上转换发光材料M‑N³⁺组成；其中，M为晶体材料和/或微晶玻璃，N³⁺为实现上转换发光的稀土离子；所述发光微米棒沿发光方向的两端设置有分布式布拉格反射膜；所述激发光源激发所述发光微米棒深紫外发光，所述椭圆腔体的内表面设置有全反射所述激发光源的反射膜。该深紫外微腔激光器可以大大提高上转换激发效率，具有很好的化学稳定性，而且吸收效率高，能够充分吸收激发泵浦光源的能力，同时具有结构简单、成本低的特点。