垂直腔表面发出激光器
授权
摘要
本公开提供一种垂直腔表面发出激光器(VCSEL)，其包括：下反射镜；上反射镜；活性层，介于所述下反射镜和所述上反射镜之间；光圈形成层，介于所述上反射镜和所述活性层之间，并具有氧化层和由所述氧化层围绕的窗口层；以及多个氧化孔，贯穿所述上反射镜以及所述光圈形成层，所述上反射镜包括通过离子注入形成的绝缘区域以及由所述绝缘区域围绕的孤立区域，所述多个氧化孔布置在所述孤立区域内。
基本信息
专利标题 ：
垂直腔表面发出激光器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922310494.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-20
授权号 ：
CN211182797U
授权日 ：
2020-08-04
发明人 ：
李基煌卢正来俞炳秀田润尚崔功熙
申请人 ：
首尔伟傲世有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道
代理机构 ：
北京钲霖知识产权代理有限公司
代理人 ：
李英艳
优先权 ：
CN201922310494.4
主分类号 ：
H01S5/187
IPC分类号 ：
H01S5/187 H01S5/028 H01S5/40
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法律状态
2020-08-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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