一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置
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摘要

本发明公开了一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置。该方法包括:根据透明样品的半径r获取照明光束的半径R,照明光束的半径R不小于透明样品的直径2r;将透明样品置于载物台上,透明样品与物镜的中心轴不重合;空间光调制器设置于物镜的像面,并设置为光栅,采集经过空间光调制器后形成的干涉图案;调整空间光调制器的光栅周期至第一检测光栅周期;获得第一干涉图像并获取第一相位分布;移除所述透明样品,获取第二相位分布;根据第一相位分布和第二相位分布获取透明样品的相位分布并计算透明样品的折射率分布。本发明实施例提供的方法能够消除重复图像,更易提取透明样品的折射率分布,实现不同尺寸透明样品的自动检测。

基本信息
专利标题 :
一种透明样品缺陷自动检测方法和检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110715931A
申请号 :
CN201911040439.6
公开(公告)日 :
2020-01-21
申请日 :
2019-10-29
授权号 :
CN110715931B
授权日 :
2022-04-12
发明人 :
杨朝兴
申请人 :
上海御微半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区芳春路400号1幢3层
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
孟金喆
优先权 :
CN201911040439.6
主分类号 :
G01N21/88
IPC分类号 :
G01N21/88  G01N21/958  G01N21/41  G01N21/45  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段,即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
法律状态
2022-04-12 :
授权
2020-02-21 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 21/88
申请日 : 20191029
2020-01-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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