原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法
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摘要
本发明涉及一种原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法，其制备方法包括以下步骤：生长石墨烯层、贴合衬底及复合膜成型；包括成型为网格状的金属箔片和该金属箔片表面的若干层石墨烯层；其中，所述石墨烯层采用化学气相沉积法生长在所述金属箔片表面。有益效果在于：消除了现有的复合功能薄膜中石墨烯与金属网格间界面结合性能差的缺陷，不仅提高了石墨烯层与金属网格贴合的牢固性，而且电接触优良，提升了综合性能表现；此外，由于刻蚀工艺成熟，刻蚀过程中不会对石墨烯层的连续性进行破坏，成品率高；最后，通过原位复合技术，简化了制备流程，提高了金属网格石墨烯复合薄膜的制备效率。
基本信息
专利标题 ：
原位复合的金属网格石墨烯复合功能薄膜及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110777355A
申请号 ：
CN201911180341.0
公开（公告）日 ：
2020-02-11
申请日 ：
2019-11-27
授权号 ：
CN110777355B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
张博韩银龙郭新涛孙文波姜浩史浩飞李朝龙
申请人 ：
中国航空制造技术研究院
申请人地址 ：
北京市朝阳区八里桥北东军庄1号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201911180341.0
主分类号 ：
C23C16/26
IPC分类号 ：
C23C16/26 C23C16/44 C23C16/56 C23F1/02
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/22
以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C16/26
仅沉积碳
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-03-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/26
申请日 : 20191127
申请日 : 20191127
2020-02-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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