本发明实施例是关于一种电子束扫描方法、难熔金属构件及电子束选区熔化设备。该电子束扫描方法包括：接收电子束扫描路径数据，扫描路径数据根据待加工工件模型的切层数据规划生成，包括不同的第一扫描路径和第二扫描路径；电子束选区熔化设备装粉后，对每层铺粉后的金属粉末层根据第一扫描路径进行第一次电子束熔化扫描，之后根据第二扫描路径进行第二次电子束熔化扫描。本实施例使用两种不同的扫描路径先后对金属粉末层进行电子束选区熔化扫描，一方面，使得热应力分布更均匀，不易导致零件层面翘曲变形；另一方面，金属粉末层通过先后两次电子束选区熔化扫描，可以在一定程度上改善零件层熔合不良的缺陷。