蓝宝石窗口片及其抛光工艺
授权
摘要

一种蓝宝石窗口片抛光工艺,属于蓝宝石窗口片制造技术领域。该蓝宝石窗口片抛光工艺包括以下步骤:浸泡处理:先将经过精磨处理的蓝宝石片浸泡在高温高浓度浓磷酸中,之后取出再浸泡在氢氟酸中;超声抛光:将经过浸泡处理的蓝宝石片放入双面抛光机中,在超声辅助下采用大粒径高pH值的氧化铝抛光液进行抛光,得到蓝宝石窗口片。本发明在提高抛光速率的同时保证了蓝宝石窗口片表面粗糙度的精度要求。

基本信息
专利标题 :
蓝宝石窗口片及其抛光工艺
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN110977629A
申请号 :
CN201911342333.1
公开(公告)日 :
2020-04-10
申请日 :
2019-12-23
授权号 :
CN110977629B
授权日 :
2022-04-15
发明人 :
刘冉苏小磊王鑫陈红飞王宇湖
申请人 :
苏州纳迪微电子有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区嵩山路488号
代理机构 :
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 :
范晴
优先权 :
CN201911342333.1
主分类号 :
B24B1/04
IPC分类号 :
B24B1/04  B24B49/16  B24B49/00  C30B33/10  C09G1/02  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺;与此工艺有关的所用辅助设备
B24B1/04
使磨削或抛光工具,研磨或抛光介质或工件受振动,例如超声波磨削
法律状态
2022-04-15 :
授权
2020-05-05 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 1/04
申请日 : 20191223
2020-04-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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