抛光蓝宝石表面的组合物和方法

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

本发明公开了一种改进的组合物和抛光蓝宝石表面的方法。该方法包括用抛光浆液研磨蓝宝石表面，例如蓝宝石晶片的C面或R面表面，其中抛光浆液包含悬浮在含水介质中的研磨量的无机研磨材料例如胶体二氧化硅，其中该含水介质中溶解有盐化合物。该含水介质具有碱性pH，并包含足够量的该盐化合物，以便使蓝宝石除去速度高于在相同抛光条件下使用相同无机研磨剂在没有该盐化合物的情况下可获得的速度。

基本信息

专利标题：

抛光蓝宝石表面的组合物和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101511532A

申请号：

CN200680007081.1

公开（公告）日：

2009-08-19

申请日：

2006-03-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

艾萨克·谢里安穆凯什·德塞凯文·莫根博格

申请人：

卡伯特微电子公司

申请人地址：

美国伊利诺伊州

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

宋莉

优先权：

CN200680007081.1

主分类号：

B24B1/00

IPC分类号：

B24B1/00 C09K13/00

IPC结构图谱

B部——作业；运输

B24

磨削；抛光

B24B

用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给

B24B1/00

磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备

法律状态

2011-05-25 ：

发明专利申请公布后的视为撤回

号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101093282698
IPC(主分类) : B24B 1/00
专利申请号 : 2006800070811
公开日 : 20090819

2009-10-14 ：

实质审查的生效

2009-08-19 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

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