公开了一种抛光波导的目标表面以实现相对于参考表面的垂直性的方法。该方法包括：i)提供抛光装置，该抛光装置具有抛光盘以及可调节安装装置，抛光盘具有限定参考平面的平坦表面，该可调节安装装置被配置成在抛光期间将波导保持在多个角度取向；ii)定位光学对准传感器及光反射装置，使得第一准直光束从与参考平面平行的表面反射，并使第二垂直准直光束从参考表面反射；iii)将抛光装置内的波导对准，使得由光学对准传感器接收的反射在该光学对准传感器内对准，从而指示参考平面和参考表面之间的垂直性；以及iv)抛光对准的波导的目标表面。