蓝宝石晶片和用于化学机械抛光垫的蓝宝石修整器
专利申请权、专利权的转移
摘要

本实用新型提供了一种蓝宝石晶片和用于化学机械抛光垫的蓝宝石修整器,该蓝宝石晶片包括蓝宝石晶片本体和磨粒,所述磨粒规则排列在所述蓝宝石晶片本体上,并且所述蓝宝石晶片本体与所述磨粒为一体结构。通过在蓝宝石晶片表面侵蚀出多个特定形状的磨粒,并且磨粒的排列具有高度的有序性,以提升修整效果。

基本信息
专利标题 :
蓝宝石晶片和用于化学机械抛光垫的蓝宝石修整器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020619775.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-22
授权号 :
CN212824753U
授权日 :
2021-03-30
发明人 :
徐良杨新鹏郑小琳蓝文安刘建哲余雅俊夏建白李京波黄仕华占俊杰
申请人 :
浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
申请人地址 :
浙江省金华市南二环西路2688号
代理机构 :
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 :
佟林松
优先权 :
CN202020619775.8
主分类号 :
B24B53/017
IPC分类号 :
B24B53/017  B24B53/12  
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IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/017
用于修整、清洁或者调节研具的设备或装置
法律状态
2022-04-29 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移IPC(主分类) : B24B 53/017
登记生效日 : 20220419
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 浙江博蓝特半导体科技股份有限公司
变更后权利人 : 金华博蓝特新材料有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 321000 浙江省金华市南二环西路2688号
变更后权利人 : 321000 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
2021-03-30 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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