本发明公开了一种扫描电子显微成像方法，属于显微成像技术领域。本发明的一种扫描电子显微成像方法，利用扫描电镜对不同会聚角的光阑下的目标物体进行扫描得到衍射图案，将每个光阑对应的衍射图案进行混合得到混合衍射图案，根据混合衍射图案进行多次迭代计算重构O(r)，采用最终迭代计算重构的O_z(r)作为目标物体最终的复振幅分布函数，根据O_z(r)的振幅和相位得到重构的目标物体图像。本发明的目的在于克服现有技术中，层叠成像方法中单一光阑产生的衍射图案只能得到目标物体一部分频段信息的重构图像的不足，提供了一种扫描电子显微成像方法，可以获得目标物体的高频特征和低频特征，从而可以得到清晰完整的目标物体图像。