一种用于碳化硅晶圆测试的载物台
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于碳化硅晶圆测试的载物台，包括载物台台面、定距杆、定距杆滑道、定位槽、转轴和基座；载物台台面上设置有多个同心圆，定距杆配有固定螺丝，定距杆可在对应的定距杆滑道上滑动，对碳化硅晶圆进行定位，定距杆滑道上标有刻度；所述定位槽刻有多条平行线段，用于放置、夹取碳化硅晶圆，同时对碳化硅晶圆的定位边进行定位；转轴顶部与载物台台面背面中心连接，通过电机驱动载物台台面升降和旋转，转轴底部与基座连接。本实用新型能够准确的对SiC晶圆进行定位，避免因手动放片导致的位置误差，有助于提高SiC晶圆测试的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于碳化硅晶圆测试的载物台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920400600.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN209471932U
授权日 ：
2019-10-08
发明人 ：
王翼李赟赵志飞李忠辉
申请人 ：
中国电子科技集团公司第五十五研究所
申请人地址 ：
江苏省南京市中山东路524号
代理机构 ：
南京理工大学专利中心
代理人 ：
陈鹏
优先权 ：
CN201920400600.5
主分类号 ：
H01L21/66
IPC分类号 ：
H01L21/66 H01L21/673 H01L21/68
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/66
在制造或处理过程中的测试或测量
法律状态
2019-10-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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