一种平板式PECVD设备阀门密封装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种平板式PECVD设备阀门密封装置，包括阀体、阀板、设于阀板上的密封圈、以及用于带动阀板启闭的转轴，所述阀板上固设有第一连接件，所述转轴上固设有第二连接件，所述第二连接件上固设有连接销，所述第一连接件上设有竖向的腰型孔，所述连接销设于所述腰型孔中。本实用新型具有结构简单、可靠、有利于防止密封圈扭转损坏等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种平板式PECVD设备阀门密封装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920424920.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-29
授权号 ：
CN210014020U
授权日 ：
2020-02-04
发明人 ：
龚杰洪陈特超杨彬唐电李建志
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 ：
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
周长清
优先权 ：
CN201920424920.4
主分类号 ：
F16K1/20
IPC分类号 ：
F16K1/20 F16K1/46
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K
阀；龙头；旋塞；致动浮子；通风或充气装置
F16K1/00
提升阀，即带有闭合元件的切断装置，闭合元件至少有打开和闭合运动的分力垂直于闭合面
F16K1/16
带有装在枢轴上的闭合元件
F16K1/18
带有装在枢轴上的盘或瓣
F16K1/20
旋转轴线配置在阀元件之外
法律状态
2020-02-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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