保持环及包括其的载体头
授权
摘要
公开了一种保持环及包括其的载体头。就根据一个实施例的对基板进行夹紧的载体头的保持环而言，所述保持环设置为对所述被夹紧的基板的边缘区域进行包围，并且可形成相对于所述基板的边缘区域可变化的间距。
基本信息
专利标题 ：
保持环及包括其的载体头
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920430432.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-01
授权号 ：
CN210099717U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
赵珳技崔在荣
申请人 ：
凯斯科技股份有限公司
申请人地址 ：
韩国京畿道安城市
代理机构 ：
北京冠和权律师事务所
代理人 ：
朱健
优先权 ：
CN201920430432.4
主分类号 ：
B24B37/34
IPC分类号 ：
B24B37/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置；附件
B24B37/34
附件
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
