花篮定位组件及制绒装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及硅片加工技术设备领域,尤其涉及一种花篮定位组件。所述花篮定位组件用于硅片制绒,包括花篮,具有第一连接件;定位装置,具有第二连接件;所述第一连接件与所述第二连接件相互作用以防止所述花篮相对所述定位装置沿上下方向移动。花篮装配于定位装置时,通过第一连接件和第二连接件的配合,使得花篮与定位装置相固定,以防止两者在上下方向移动,结构简单,安装方便且成本低。

基本信息
专利标题 :
花篮定位组件及制绒装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920451872.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-04
授权号 :
CN209544298U
授权日 :
2019-10-25
发明人 :
陈龙高夺利李成伟
申请人 :
洛阳阿特斯光伏科技有限公司
申请人地址 :
河南省洛阳市洛龙区科技园关林大道10号
代理机构 :
苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杨林洁
优先权 :
CN201920451872.8
主分类号 :
H01L21/68
IPC分类号 :
H01L21/68  H01L21/67  H01L31/18  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-03-15 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20190404
授权公告日 : 20191025
终止日期 : 20210404
2019-10-25 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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