一种制绒机用槽体组件及制绒机
授权
摘要
本实用新型涉及制绒机技术领域，公开一种制绒机用槽体组件及制绒机。其中制绒机用槽体组件包括反应槽、定位柱和冷却管，其中花篮和反应液置于反应槽内，硅片置于花篮内；定位柱竖直置于反应槽内，反应槽的至少两侧设置有定位柱，花篮能套设于定位柱上；冷却管绕设于反应槽的内壁，冷却管内流通有冷却液。本实用新型通过设置定位柱，避免花篮以及花篮内的硅片在反应槽内水平漂浮，有利于使反应液与硅片充分反应，保证反应后的硅片表面的一致性，有利于反应后对花篮的取出，提高工作效率；通过设置冷却管，用于对反应槽内的反应液进行冷却，有利于使冷却液保持合适温度，进而保证工艺的稳定性，保证较高的良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种制绒机用槽体组件及制绒机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021944635.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-08
授权号 ：
CN212907663U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
陈龙
申请人 ：
洛阳阿特斯光伏科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN202021944635.4
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L31/18 C30B33/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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