槽式制绒上料机

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

摘要

本实用新型公开了槽式制绒上料机，涉及硅片搬运技术领域。通过花篮输跑道、堆叠盒输送跑道和硅片输送跑道实现了花篮、堆叠盒与硅片的输送与流转，通过堆叠盒升降顶片装置的设置使得硅片能从堆叠盒中被获取，通过双工位吸盘装置从堆叠盒获取硅片，同时将硅片放置在硅片输送跑道上进行输送，通过装片装置的设置使得硅片能够进入花篮，通过花篮翻转装置的设置，使得原来朝向槽式制绒上料机的花篮中的硅片能够进行翻转从而使得硅片方向朝向反应炉，实现了与反应炉的对接。

基本信息

专利标题：

槽式制绒上料机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020187054.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-19

授权号：

CN211957608U

授权日：

2020-11-17

发明人：

汤亚东

申请人：

无锡市江松科技有限公司

申请人地址：

江苏省无锡市无锡新区硕放工业集中区五期C20-2号地块

代理机构：

无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

朱晓林

优先权：

CN202020187054.4

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677 H01L31/18