一种高产能槽式硅片清洗制绒设备

授权

摘要

本实用新型公开了一种高产能槽式硅片清洗制绒设备，具有多个依次排列的工艺槽及对应工艺槽的机械臂；工艺槽的宽度设置为对应一个花篮的宽度，长度设置为对应三个花篮的长度；机械臂包括通过滑轨分别设置在机械臂两端的主动支架和从动支架，主动支架由驱动机构驱动升降；主动支架和从动支架之间通过悬梁连接以实现从动支架与主动支架的同步升降；悬梁上设置三个挂钩分别对应每个工艺槽内三个花篮的位置。上述结构在保持高产能的情况下可以有效降低设备整体长度，且工艺槽的塑料槽体变窄后更容易承受高温变形而使设备更加可靠，新型机械臂结构运行更加可靠平稳且运动速度可以有效增加以增加相对产能。

基本信息

专利标题：

一种高产能槽式硅片清洗制绒设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020541561.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-04-13

授权号：

CN212011004U

授权日：

2020-11-24

发明人：

上官泉元

申请人：

常州比太科技有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进高新技术产业开发区凤翔路7号

代理机构：

北京集智东方知识产权代理有限公司

代理人：

吴倩

优先权：

CN202020541561.3

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L31/0236 H01L21/673 C30B33/10