一种花篮转动式硅片制绒装置
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
摘要
本实用新型公开了一种花篮转动式硅片制绒装置，包括花篮(6)，所述花篮(6)两侧固定设置有转轴，所述转轴左侧为第一转轴杆(3)，所述转轴右侧为第二转轴杆(15)，所述第一转轴杆(3)和所述第二转轴杆(15)分别放置于第一支撑座(2)和第二支撑座(19)上，所述第一支撑座(2)和第二支撑座(19)固定在制绒槽内。本实用新型在制绒过程中硅片保持转动，碱液、气泡与硅片的相对运动不再是单向的，而是360°全方位的相对运动，可以极大地提高硅片与碱液反应的均匀性，获得更加均匀的绒面，改善硅片的外观，提高后续工艺在硅片上镀膜的均匀性。
基本信息
专利标题 ：
一种花篮转动式硅片制绒装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920879967.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-12
授权号 ：
CN209747478U
授权日 ：
2019-12-06
发明人 ：
杜俊霖刘正新孟凡英谢毅
申请人 ：
中威新能源（成都）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市双流西南航空港经济开发区内
代理机构 ：
成都时誉知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
何悦
优先权 ：
CN201920879967.X
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/677 H01L31/18
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2021-08-10 ：
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的注销IPC(主分类) : H01L 21/67
授权公告日 : 20191206
申请日 : 20190612
登记号 : Y2020510000082
出质人 : 中威新能源（成都）有限公司
质权人 : 成都银行股份有限公司天府新区分行
解除日 : 20210723
授权公告日 : 20191206
申请日 : 20190612
登记号 : Y2020510000082
出质人 : 中威新能源（成都）有限公司
质权人 : 成都银行股份有限公司天府新区分行
解除日 : 20210723
2020-09-01 ：
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
专利权质押合同登记的生效IPC(主分类) : H01L 21/67
登记号 : Y2020510000082
登记生效日 : 20200807
出质人 : 中威新能源（成都）有限公司
质权人 : 成都银行股份有限公司天府新区分行
实用新型名称 : 一种花篮转动式硅片制绒装置
申请日 : 20190612
授权公告日 : 20191206
登记号 : Y2020510000082
登记生效日 : 20200807
出质人 : 中威新能源（成都）有限公司
质权人 : 成都银行股份有限公司天府新区分行
实用新型名称 : 一种花篮转动式硅片制绒装置
申请日 : 20190612
授权公告日 : 20191206
2019-12-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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