一种制绒机高温槽及包括其的硅片制绒系统装置
授权
摘要
本实用新型提供了一种制绒机高温槽及包括其的硅片制绒系统装置，所述制绒机高温槽包括内槽和套设于内槽外周的外槽，所述内槽与外槽之间形成环形槽腔，向所述内槽中注入药液，药液溢流进入环形槽腔；所述内槽内部底面设置有加热装置，所述加热装置内设置有第一温度传感器，所述第一温度传感器电性连接控制器，所述控制器反馈控制所述加热装置，所述控制器根据第一温度传感器传输的检测温度，控制所述加热器。本实用新型在加热装置内部设置第一温度传感器，通过第一温度传感器检测到的加热装置的升温速率作为评价指标，判定当前内槽状态是否有药液。
基本信息
专利标题 ：
一种制绒机高温槽及包括其的硅片制绒系统装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122378184.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-29
授权号 ：
CN216250763U
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
陈龙
申请人 ：
洛阳阿特斯光伏科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司
申请人地址 ：
河南省洛阳市洛龙科技园关林大道10号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
边人洲
优先权 ：
CN202122378184.3
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L31/0236 H01L21/67
法律状态
2022-04-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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