一种用于OLED制造装置的烘干机
授权
摘要
本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种用于OLED制造装置的烘干机；技术方案是：包括机架，机架中部设置有工作台，工作台用于放置加热容器，加热容器内设有加热部件、侧壁设置有封闭门、顶部间隔设有外突的出气接口和进气接口，出气接口内设有第一单向阀，进气接口设置有第一开关阀；机架上部正对工作台设置有接插板，接插板竖直设置有出气套管、进气套管，出气套管下端可与出气接口密封套接，进气套管下端可与进气接口密封套接；出气套管上端与换向阀进口连接，换向阀一出口与真空泵进气口相连，进气套管上端与保护气储罐出气口相连。本实用新型用于OLED基板的烘干处理，具有烘干效率高、可避免水分再次附着在基板上的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于OLED制造装置的烘干机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920459657.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-08
授权号 ：
CN210036046U
授权日 ：
2020-02-07
发明人 ：
王宏宇罗雪春
申请人 ：
成都拓维高科光电科技有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市中国（四川）自由贸易试验区成都高新区世纪城南路599号6栋5层505号
代理机构 ：
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
高俊
优先权 ：
CN201920459657.2
主分类号 ：
F26B5/04
IPC分类号 ：
F26B5/04 F26B9/06 F26B21/14 F26B23/00 F26B25/00 H01L51/56
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F26
干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B
从固体材料或制品中消除液体的干燥
F26B5/00
不需要使用加热方法干燥固体材料或制品
F26B5/04
借助在低压下湿气的蒸发或升华，例如在真空中
法律状态
2020-02-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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