本实用新型属于金刚石膜加工技术领域，具体涉及一种在金刚石膜研磨过程中，能够保障金刚石膜高平整度，且能实现方便快捷测量金刚石膜去除量的金刚石膜研磨工装；所述工装包括：用于矫正金刚石膜膜厚均匀性的垂直定位轴；用于夹持垂直定位轴和固定金刚石膜支撑体的上托盘；作为所述金刚石膜支撑体用于固定金刚石膜的下托板；所述垂直定位轴可拆卸地设置在所述上托盘上，所述下托板可拆卸地设置在所述上托盘下方。所述工装这种夹持工装设计可以实现在金刚石膜研磨过程中只进行一次粘膜/卸膜操作，而且在研磨过程中，可以便捷地对金刚石膜任意区域的厚度进行测量。