一种全包裹派瑞林镀膜装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种全包裹派瑞林镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，包括移动支撑架振动装置及平板镀膜移动支撑架，移动支撑架振动装置包括若干个设置在平板镀膜移动支撑架下方的振动三角块，平板镀膜移动支撑架包括内部开设有若干个滚珠活动空隙的支撑架体及设置在滚珠活动空隙内的滚珠，位于滚珠活动空隙内设有滚珠导轨槽，位于滚珠导轨槽的两侧设有滚珠分离器。本实用新型通过滚珠滚动，实现点接触，滚珠在滚珠活动空隙内滚动，使的待镀膜工件在滚珠上滚动，实现点接触，实现待镀膜工件的全包裹镀膜，保证镀膜工件的全包裹，提高产品可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种全包裹派瑞林镀膜装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920538027.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-19
授权号 ：
CN209873094U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
张卫兴庄丽叶张振兴钱雪冰
申请人 ：
江苏可润光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区尧化街道甘家边东108号
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯子玲
优先权 ：
CN201920538027.4
主分类号 ：
C23C16/448
IPC分类号 ：
C23C16/448 C23C16/458
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/448
产生反应气流的方法，例如通过母体材料的蒸发或升华
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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