一种高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备,包括密封板和气缸,所述密封板底部与壳体固定连接,且壳体底部安装有底箱,同时壳体内部安装有固定支架,并且固定支架内部固定连接有插块,插块上安装有基板,固定支架上侧安装有横板,且固定支架右下侧与万向轮固定连接,同时固定支架底部与轴杆固定连接,并且轴杆端部通过轴承穿过动力箱与转动齿轮固定连接,真空管的上端设置在壳体内部,且真空管的下端部与底箱内部的真空装置固定连接;所述气缸的伸缩杆与动力箱固定连接。该高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备,基板设置为12组环形设置在固定支架上,一次可完成12组基板的镀膜作业,装置镀膜工作效率高。
基本信息
专利标题 :
一种高气密性的派瑞林真空纳米镀膜设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020662792.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-27
授权号 :
CN212189712U
授权日 :
2020-12-22
发明人 :
王静
申请人 :
深圳市山禾乐科技开发有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华新区观澜街道凹背社区大富工业区11号鹏龙蟠高科技园C栋三楼南
代理机构 :
深圳市远航专利商标事务所(普通合伙)
代理人 :
张朝阳
优先权 :
CN202020662792.X
主分类号 :
B05B13/02
IPC分类号 :
B05B13/02 B05D3/04
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B13/00
不包含在B05B1/00至B05B11/00各组中的,用喷射的方法在物体或其他工件的表面涂布液体或其他流体的机器或设备
B05B13/02
支撑工件的装置;喷头的配置或安装;进给工件装置的改进或配置
法律状态
2022-04-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B05B 13/02
申请日 : 20200427
授权公告日 : 20201222
终止日期 : 20210427
申请日 : 20200427
授权公告日 : 20201222
终止日期 : 20210427
2020-12-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载