一种保持派瑞林镀膜沉积腔清洁的装置
授权
摘要
本实用新型公开了一一种保持沉积腔清洁的装置，属于化学气相沉积技术领域，包括通过联接环安装在沉积腔侧壁上的加热器及通过空气阀安装在加热器上的至少一个空气过滤器，联接环与沉积腔连通，加热器与空气过滤器之间通过空气阀连通，空气过滤器的一侧设有与其连通的进气口，当沉积腔内待加工件被取出时，沉积腔压力回到正常大气压下，沉积腔外的空气通过空气过滤器过滤，沉积腔外气体通过空气阀进入沉积室内。本实用新型腔外气体通过空气过滤器和加热器进入沉积室内，避免造成成膜后产品表面颗粒吸附，保证加工件在真空沉积室内镀膜后其表面质量的洁净要求，有效的提高加工的产品质量。
基本信息
专利标题 ：
一种保持派瑞林镀膜沉积腔清洁的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920649148.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-07
授权号 ：
CN209873093U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
张卫兴张振兴庄丽叶张荠文
申请人 ：
江苏可润光电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区尧化街道甘家边东108号
代理机构 ：
上海精晟知识产权代理有限公司
代理人 ：
冯子玲
优先权 ：
CN201920649148.6
主分类号 ：
C23C16/44
IPC分类号 ：
C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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