一种石英晶体谐振器真空镀膜加工用夹具
授权
摘要
本实用新型公开了一种石英晶体谐振器真空镀膜加工用夹具，包括加热箱，所述加热箱的两侧外壁靠近底部的位置均开有第一通孔，且第一通孔的圆周内壁上均插接有连接管，两个所述连接管的一端均螺接有进气斗，且进气斗的一侧内壁靠近连接管的位置均通过螺栓固定有滤网，两个所述连接管的一侧外壁上均通过螺栓固定有阀门，所述加热箱的一侧内壁上通过螺栓固定有加热丝，所述加热箱的顶部外壁开有等距离分布的第二通孔，且第二通孔的圆周内壁上均插接有出气管。本实用新型利用加热丝加热空气，再根据热空气上升的原理，由出气管排出较热的气体，进而对镀膜盘以及以上部分进行除湿烘干，避免残留水分，影响后续镀膜质量。
基本信息
专利标题 ：
一种石英晶体谐振器真空镀膜加工用夹具
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920543366.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-22
授权号 ：
CN210065903U
授权日 ：
2020-02-14
发明人 ：
张斌
申请人 ：
浙江蓝晶芯微电子有限公司
申请人地址 ：
浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920543366.1
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50 C23C16/458 B25B11/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-02-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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