一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，晶体生长炉包括炉体、炉底板、坩埚，升降机构包括可升降的设于炉底板下方的升降台、用于驱动升降台升降的驱动装置、固设于升降台上的导向套、下端固定连接在导向套中的弹性件、下端固定连接在弹性件上端的缓冲杆；缓冲杆可沿自身轴心线方向活动的穿设于导向套中，缓冲杆的上端固定连接在炉底板的下表面；导向套的上端与炉底板之间间隙分布。本实用新型一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构，当炉体抽真空时，炉底板在弹性件的作用下被向上均匀顶起，使接触面保持贴合，提高了炉体的真空度；当炉体破真空时，炉底板的振动被弹性件缓冲，使压力释放均匀，延长了升降机构的使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶体生长炉的缓冲式升降机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920560956.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-23
授权号 ：
CN209798157U
授权日 ：
2019-12-17
发明人 ：
李留臣周正星周洁
申请人 ：
江苏星特亮科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市杨舍镇东莱东黎路8号（星特亮）
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
刘鑫
优先权 ：
CN201920560956.5
主分类号 ：
C30B11/00
IPC分类号 ：
C30B11/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B11/00
正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长，例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法
法律状态
2019-12-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
