单晶炉籽晶软轴更换预紧装置

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摘要

一种单晶炉籽晶软轴更换预紧装置，包括定位预紧支架(1)，定位预紧支架的一侧上下对称设置有两组支撑轮(8)，另一侧上端与压紧轮架(3)顶端铰接，另一侧下端设置有活结螺栓(4)；压紧轮架上设置有一组位于两组支撑轮之间的压紧轮(2)，压紧轮和支撑轮的边缘沿周向均设有用于放置籽晶软轴(10)的凹槽；活结螺栓的螺纹轴依次穿过压紧轮架底端的通孔和压紧螺母手轮(6)，压紧螺母手轮与活结螺栓螺纹配套连接。该装置可实现籽晶软轴在卷绕的过程中保持一定的预紧力，还能保证预紧力大小一致；另外，该装置能够适用不同直径的籽晶软轴，且不会对籽晶软轴表面造成划伤，延长籽晶软轴的使用寿命，提高晶体拉制过程的控制平稳性。

基本信息

专利标题：

单晶炉籽晶软轴更换预紧装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920567199.4

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-24

授权号：

CN210048877U

授权日：

2020-02-11

发明人：

张艳辉

申请人：

徐州晶睿半导体装备科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号

代理机构：

北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

李妮

优先权：

CN201920567199.4

主分类号：

C30B15/32

IPC分类号：

C30B15/32 C30B29/06