用于籽晶生长的夹持装置
授权
摘要
本实用新型公开一种用于籽晶生长的夹持装置，包括夹持部，夹持部一端与钼接头连接，另一端与籽晶连接，夹持部包括圆柱段，圆柱段下部连接有圆锥段，圆锥段底部开设有用于放置籽晶棒的盲孔，圆锥段一侧开设有凹槽，凹槽内开设有不贯穿圆锥段的销轴孔，销轴孔开设在盲孔中部，且与盲孔连通；还包括与销轴孔配合的籽晶卡销。本实用新型采用销轴的方式，将籽晶固定在夹持部，拆装方便，便于操作，且对石墨纸没有磨损，连接稳固性好，有效地防止籽晶掉落事故的发生。本实用新型结构简单，易于制造，且制造成本低。
基本信息
专利标题 ：
用于籽晶生长的夹持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920688870.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-15
授权号 ：
CN210048878U
授权日 ：
2020-02-11
发明人 ：
陈翼陈松松于中兴
申请人 ：
徐州晶睿半导体装备科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省徐州市徐州经济技术开发区鑫芯路1号
代理机构 ：
北京淮海知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
孟洁
优先权 ：
CN201920688870.0
主分类号 ：
C30B15/32
IPC分类号 ：
C30B15/32 C30B29/20
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B15/00
熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法
C30B15/32
籽晶夹持器，例如籽晶夹头
法律状态
2020-02-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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