一种碳化硅籽晶加工用的生长装置
授权
摘要

本实用新型公开了一种碳化硅籽晶加工用的生长装置,包括坩埚,所述坩埚的上端设置有坩埚盖,所述坩埚盖的上端中部外表面设置有圆盘,所述圆盘的上端中部外表面固定安装有旋钮柄,所述旋钮柄的外壁设置有防滑纹,所述坩埚的内壁固定安装有一号保温层,所述一号保温层的上端中部外表面设置有籽晶托盘,所述坩埚盖的内壁固定安装有二号保温层,所述二号保温层的上端外表面固定安装有隔板。本实用新型所述的一种碳化硅籽晶加工用的生长装置,设有一号保温层、二号保温层、活性炭、一号通孔、二号通孔与圆盘,能够提高保温效果,还能吸附SiC籽晶生长过程中产生的气体,还可以实时观察SiC籽晶生长进程,带来更好的使用前景。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅籽晶加工用的生长装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921368789.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-08-22
授权号 :
CN210314565U
授权日 :
2020-04-14
发明人 :
张小燕
申请人 :
张小燕
申请人地址 :
广东省惠州市博罗县杨桥镇塔下分场六队
代理机构 :
南昌智旭知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
周超
优先权 :
CN201921368789.0
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B35/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-04-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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