一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置
授权
摘要

一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置,属于碳化硅材料技术领域。本实用新型包括上盖、上旋转定位机构、下旋转支撑机构和反应室,反应室的内壁上设置有支撑台,上旋转定位机构安装在下旋转支撑机构上,旋转定位机构置于支撑台上,上盖与反应室螺纹连接,上旋转定位机构与下旋转支撑机构之间安装有支撑杆,且旋转定位机构均包括旋转圆环、旋转夹片和旋转平板,旋转圆环与旋转平板之间设置有旋转夹片,旋转夹片通过圆杆与旋转圆环配合安装,旋转夹片通过滑块还与旋转平板滑动配合安装。本实用新型的结构简单,方便拆卸和更换,不需要使用粘接剂就可实现对籽晶片的固定,而且在晶体生长完成后便于分离。

基本信息
专利标题 :
一种碳化硅单晶生长中的籽晶固定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920972270.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-06-26
授权号 :
CN210065981U
授权日 :
2020-02-14
发明人 :
赵丽丽袁文博范国峰张胜涛刘德超
申请人 :
哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
申请人地址 :
黑龙江省哈尔滨市南岗区哈西大街与学府四道街交汇处第40栋-1-2层12号
代理机构 :
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
韩立岩
优先权 :
CN201920972270.7
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36  C30B23/00  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-02-14 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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