本实用新型公开了一种碳化硅籽晶，所述碳化硅籽晶形成有在厚度方向相对的第一表面和第二表面，所述第一表面用于生长碳化硅晶体，所述第二表面形成有多个凹槽，在所述碳化硅籽晶的径向从内向外的方向上，多个所述凹槽的截面面积逐渐减小。根据本实用新型实施例的碳化硅籽晶，根据热传递原理可知，气相热传导低于固相热传导，通过在第二表面设置凹槽，使得凹槽内具有比碳化硅籽晶导热率低的气体，由此设置凹槽处的导热速率较慢，与未设置凹槽的其他位置相比可以减少籽晶热量的耗散，减小了碳化硅籽晶表面的径向温差，实现了碳化硅蒸气在碳化硅籽晶表面均匀沉积，从而得到平整的碳化硅晶体，降低了碳化硅晶体中的整体缺陷。