一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，包括固定支架、贴紧装置、限位装置和吸盘构成，所述固定支架一端固定有贴紧装置，所述固定支架远离贴紧装置一端设有吸盘，所述吸盘内部设有卡槽，所述卡槽内部设有限位装置，所述固定支架与吸盘之间通过限位装置固定连接，此碳化硅产生用的籽晶片粘合设备，使用吸盘吸住碳化硅籽晶，保护碳化硅籽晶，确保碳化硅粘接时不会产生划痕和缺陷，进一步保证后期碳化硅制备的质量，通过贴紧装置可以在碳化硅籽晶粘接后，挤压碳化硅籽晶，提升碳化硅籽晶的粘接平整度和粘接强度，保证提升碳化硅制备的质量和速度。
基本信息
专利标题 ：
一种碳化硅产生用的籽晶片粘合设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921053034.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-08
授权号 ：
CN210560883U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
吉野辰萌程鹏
申请人 ：
天津市卓辉电子有限公司
申请人地址 ：
天津市东丽区华明高新技术产业区弘晟道2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921053034.1
主分类号 ：
C30B35/00
IPC分类号 ：
C30B35/00 C30B29/36
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B35/00
未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的装置
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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