本实用新型公开了一种碳化硅籽晶夹具，碳化硅籽晶夹具包括：第一籽晶夹，碳化硅籽晶设于第一籽晶夹的在厚度方向的一侧表面；第二籽晶夹，第二籽晶夹设于第一籽晶夹的在厚度方向的另一侧且与第一籽晶夹可相对转动，第二籽晶夹的朝向第一籽晶夹的一侧表面形成有多个第一凹槽，第一凹槽内设有填充介质，填充介质的导热率低于第二籽晶夹的导热率，在第二籽晶夹的径向从内向外的方向上，多个第一凹槽的排布密度逐渐减小。根据本实用新型的碳化硅籽晶夹具，减小了碳化硅籽晶表面的径向温差，实现了碳化硅蒸气在碳化硅籽晶表面均匀沉积，从而得到平整的碳化硅晶体。