本实用新型实施例提供一种膜厚测量装置，所述膜厚测量装置包括：探针组，包括第一伸缩探针和第二伸缩探针，所述第一伸缩探针接触薄膜上表面而产生基准压力，所述第二伸缩探针接触薄膜基板上镀有所述薄膜的一面而产生第一压力；检测单元，与所述第一伸缩探针和所述第二伸缩探针连接，用于获取所述基准压力和所述第一压力之间的第一压力差，并根据所述第一压力差计算所述薄膜的厚度，通过上述技术方案，利用两个伸缩探针和压力检测单元进行检测，将检测的压力差转换为高度差，得到薄膜厚度，避免了现有技术中的测量方法在检测过程中对薄膜造成的划伤，同时，测量不受光学折射率等参数的影响，测量结果精确度高。