本实用新型提供了一种负压预载气浮直线台装置，包括：基座；设置在基座顶部的上滑台，上滑台底面与基座顶面接触处均匀设置有负压预载腔，上滑台上设置有气浮进气孔和负压孔，负压孔与负压预载腔连通；设置在基座左右两侧的侧面气浮滑块，侧面气浮滑块的内侧面与基座端面之间的接触处均匀设置有正压悬浮腔，正压悬浮腔与气浮进气孔连通，侧面气浮滑块顶部固定在上滑台的底侧面上；固定在侧面气浮滑块底部的底部气浮滑块，底部气浮滑块顶面与基座侧端底面之间的接触处均匀设置有正压悬浮腔，正压悬浮腔与气浮进气孔连通。本负压预载气浮直线台装置，通过设置气浮与负压相结合的结构，提高气浮直线台移动时的稳定性和精确性。