一种真空预载气浮支承结构及其应用
授权
摘要
本发明公开了一种真空预载气浮支承结构及其应用,真空预载气浮支承结构,包括基板和浮板,所述基板的上端面向下凹陷形成真空腔,基板与浮板之间形成气膜间隙,基板内在真空腔下方设置有调节腔,调节腔与真空腔连通,调节腔的纵向截面呈凸形结构,所述调节腔的大端内设置有真空节流板,真空节流板的上端面设置有永磁体,所述永磁体能够在调节腔的小端内上下移动,真空节流板上设置有过孔,所述过孔与调节腔的小端错开设置,真空节流板的上端面与调节腔内壁之间形成真空节流口,所述真空腔通过真空节流口、过孔和抽气口与真空发生装置连通,所述浮板采用导磁金属材料制成。本发明通过磁力结构的引入,有效地提升真空预载气浮支承的刚度。
基本信息
专利标题 :
一种真空预载气浮支承结构及其应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113417940A
申请号 :
CN202110837254.9
公开(公告)日 :
2021-09-21
申请日 :
2021-07-23
授权号 :
CN113417940B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
胡秋李梦阳薛宝珠
申请人 :
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
申请人地址 :
四川省绵阳市绵山路64号
代理机构 :
成都行之专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
唐邦英
优先权 :
CN202110837254.9
主分类号 :
F16C32/06
IPC分类号 :
F16C32/06 F16C32/04
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16C
轴;软轴;在挠性护套中传递运动的机械装置;曲轴机构的元件;枢轴;枢轴连接;除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件;轴承
F16C
轴;软轴;在挠性护套中传递运动的机械装置;曲轴机构的元件;枢轴;枢轴连接;除传动装置、联轴器、离合器或制动器元件以外的转动工程元件;轴承
F16C32/00
不包含在其他类目中的轴承
F16C32/06
带有至少在很大程度上不是由轴的运动形成的流体垫所支承的运动元件,如流体静力气垫轴承
法律状态
2022-04-01 :
授权
2021-10-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : F16C 32/06
申请日 : 20210723
申请日 : 20210723
2021-09-21 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载