气浮旋转装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种气浮旋转装置,包括:托盘;托盘支撑件,位于托盘下方,并相对于托盘径向固定,托盘支撑件包括:圆筒部;上端板,为从圆筒部的上边缘径向向外延伸的环形板;下端板,为从圆筒部的下边缘径向向外延伸的环形板;气浮套,围绕圆筒部设置,且设有与气源连通的内部气道,内部气道分别在气浮套的顶面、底面、以及径向内周表面设有开口;底座;旋转驱动装置,包括旋转驱动部和固定部,旋转驱动部与托盘支撑件固定连接,固定部与气浮套和底座固定连接。根据本实用新型的气浮旋转装置能够通过径向和端面气浮轴承为托盘提供旋转方向导向,从而实现托盘的高精度旋转运动。且气浮旋转装置结构简单,实现扁平化设计。
基本信息
专利标题 :
气浮旋转装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202020457713.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-04-01
授权号 :
CN212029017U
授权日 :
2020-11-27
发明人 :
陈啸虎吴火亮瞿晓晨黄传杨日升杨昊明吴聪懿
申请人 :
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区南汇新城镇环湖西二路888号C楼
代理机构 :
上海上谷知识产权代理有限公司
代理人 :
蔡继清
优先权 :
CN202020457713.1
主分类号 :
F16M11/08
IPC分类号 :
F16M11/08 F16M11/18 F16C32/06
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座;机座或支架
F16M
非专门用于其他类目所包含的发动机或其他机器或设备的框架、外壳或底座;机座或支架
F16M11/00
用于器械或其上制品的作为支承的机台或支架
F16M11/02
头部
F16M11/04
器械的固定方法;器械相对于支架允许调整的方法
F16M11/06
允许转动的
F16M11/08
围绕立轴转动的
法律状态
2020-11-27 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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