气浮承载装置
公开
摘要
本发明实施例公开的一种气浮承载装置包括：承载层，包括承载面，承载面上设置第一气孔、第二气孔、第一支导气管和第一主导气管，第一支导气管连通第二气孔；间隔层，与承载层形成第一空腔，第一空腔连通第一气孔和第一主导气管；间隔层上设置第一主导气管过孔和第一支导气管过孔，第一主导气管穿过第一主导气管过孔，第一支导气管穿过第一支导气管过孔；气路连接层，与间隔层形成第二空腔，第一支导气管连通第二空腔；气路连接层设置第二主导气管，第二主导气管连通第二空腔。本发明提供的气浮承载装置通过设置特定的气路结构用于对待测件进行气浮承载，能够对待测件的不同区域均匀承载，以提高气浮承载装置的承载效果。
基本信息
专利标题 ：
气浮承载装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114559382A
申请号 ：
CN202210353232.X
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-04-01
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈鲁张龙方一张嵩
申请人 ：
深圳中科飞测科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区上横朗第四工业区2号101、201、301
代理机构 ：
深圳精智联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
夏声平
优先权 ：
CN202210353232.X
主分类号 ：
B25B11/00
IPC分类号 ：
B25B11/00 G01D21/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25B
不包含在其他类目中的用于紧固、连接、拆卸或夹持的工具或台式设备
B25B11/00
不包含在B25B1/00至B25B9/00各组中的工件夹持装置或定位装置，例如，磁性工件夹持装置、真空夹持装置
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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