一种新型喷镀装置
专利权的终止
摘要

本实用新型涉及一种新型喷镀装置,包括壳体,以及设置在壳体内的样品台,所述的样品台设置在旋转机构上,所述的样品台下端还设置有加热机构,所述样品台的上端还设置有一喷头,所述的喷头上设置有多个喷孔,所述的喷孔的孔径为0.05‑1mm,所述的喷头通过高压气流管道输入高纯氮气或高压氮气,所述的高压气流管道还通过进料管道与进料筒连通。本实用新型结构简单,实用性强,不仅可以用于实验,也可以用于工业生产,同时制备纳米点、晶须、纳米薄膜;本实用新型通过高压将前驱体溶液均匀喷涂在衬底上,并且通过旋转机构,保证喷涂的均匀性;本实用新型通过电磁加热线圈可实现薄膜的快速分解、固化,从而提高薄膜的制备效率。

基本信息
专利标题 :
一种新型喷镀装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920636693.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-06
授权号 :
CN210545955U
授权日 :
2020-05-19
发明人 :
杨为家刘俊杰赵丽特刘铭全何鑫李远兴
申请人 :
五邑大学
申请人地址 :
广东省江门市蓬江区东成村22号
代理机构 :
广州市红荔专利代理有限公司
代理人 :
吴伟文
优先权 :
CN201920636693.1
主分类号 :
B05B16/20
IPC分类号 :
B05B16/20  B05B1/14  B05B13/02  B05B7/04  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B05
一般喷射或雾化;对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置;雾化装置;喷嘴
B05B16/00
喷漆室
B05B16/20
与其他操作相结合的喷射装置,如烘干;实现喷涂操作的结合的装置
法律状态
2022-04-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : B05B 16/20
申请日 : 20190506
授权公告日 : 20200519
终止日期 : 20210506
2020-05-19 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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