一种石英舟防砸保护系统
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种石英舟防砸保护系统,包括石英舟和传送装置,所述石英舟的前侧设有金属部件,所述石英舟由所述传送装置输送到位;其特征在于:还包括光纤感应器和金属位移传感器,所述光纤感应器设置在所述石英舟到位时的后侧,所述金属位移传感器设置在所述石英舟到位时的前侧;当所述石英舟到位时,所述光纤感应器可检测到所述石英舟的尾部,发出石英舟已到位信号;所述金属位移传感器可检测到所述石英舟前侧的金属部件,发出石英舟已到位信号。本实用新型通过光纤感应器和金属位移传感器的配合作用,提高了扩散机械抓手及石英舟使用的安全性。

基本信息
专利标题 :
一种石英舟防砸保护系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920638232.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-06
授权号 :
CN209675260U
授权日 :
2019-11-22
发明人 :
匡露彭松张建国
申请人 :
镇江大全太阳能有限公司
申请人地址 :
江苏省镇江市扬中市新坝镇大全路66号
代理机构 :
南京知识律师事务所
代理人 :
李湘群
优先权 :
CN201920638232.8
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  H01L21/677  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-04-12 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20190506
授权公告日 : 20191122
终止日期 : 20210506
2019-11-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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