一种石英盖定位保护装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本发明涉及用于保护刻蚀机反应腔室石英盖定位保护装置。本发明公开的一种石英盖定位保护装置，包括石英盖、调整支架，定位保护环，该定位保护环置于石英盖与调整支架之间。本发明结构简单，便于生产；通过在石英盖与调整支架之间增加石英盖保护环，避免因操作不当引起的石英盖损坏，延长石英盖使用寿命，节约成本。由于本发明的石英盖定位保护环的内侧为台阶状结构，这样可以帮助操作者准确定位，缩短了安装石英盖的时间；可广泛应用于半导体设备或其他设备中。
基本信息
专利标题 ：
一种石英盖定位保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1851851A
申请号 ：
CN200510126297.7
公开（公告）日 ：
2006-10-25
申请日 ：
2005-12-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
杨崴
申请人 ：
北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请人地址 ：
100016北京市朝阳区酒仙桥东路1号
代理机构 ：
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 ：
向华
优先权 ：
CN200510126297.7
主分类号 ：
H01L21/00
IPC分类号 ：
H01L21/00 H01L21/67 H01L21/3065
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
法律状态
2018-08-14 ：
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/00
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
变更后 : 北京北方华创微电子装备有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 100016 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
变更后 : 100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2008-03-26 ：
授权
2006-12-20 ：
实质审查的生效
2006-10-25 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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