石英舟定位装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本实用新型公开了一种石英舟定位装置,所述石英舟定位装置包括:第一定位装置,所述第二舟脚固定结构与所述第一舟脚固定结构固定连接,所述第一基准部固定在所述第一舟脚固定座上且位于所述第一定位部的远离所述第二舟脚固定结构的一侧,所述第一定位部在所述第一基准部和所述第二舟脚固定结构之间可相对靠近和远离所述第一基准部,所述第一调节部设在所述第二定位部的远离所述第一基准部的一侧,且所述第一调节部和所述第二定位部均可在相互靠近和远离彼此的方向上可移动。根据本实用新型的石英舟定位装置,使石英舟在舟脚出现磨损时同样可以实现准确定位,提高了石英舟定位的准确性,且可以减少第一定位装置的定位调试时间,提升调试效率。
基本信息
专利标题 :
石英舟定位装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921894524.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-05
授权号 :
CN210628267U
授权日 :
2020-05-26
发明人 :
曹兵孙贤乔勇
申请人 :
苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区鹿山路199号
代理机构 :
北京景闻知识产权代理有限公司
代理人 :
卢春燕
优先权 :
CN201921894524.4
主分类号 :
H01L21/68
IPC分类号 :
H01L21/68 H01L31/18
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2021-02-09 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 21/68
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
变更事项 : 专利权人
变更前 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更后 : 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更后 : 215000 江苏省苏州市高新区鹿山路199号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 阿特斯阳光电力集团有限公司
变更后 : 阿特斯阳光电力集团股份有限公司
2020-05-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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