一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要

本实用新型公开了一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置,包括储液槽、连通管、控制器、第一限位环、第二限位环和电源线,所述储液槽一侧内壁设置有连通管,所述连通管下端内壁设置有第一限位环,所述第一限位环上方设置有活塞,所述活塞外壁嵌入安装有密封圈,所述连通管上端内壁设置有第二限位环,所述第二限位环上方设置有活动块,所述活动块上表面安装有第二触点,所述连通管顶端内壁安装有固定块,所述固定块下表面固定有第一触点,所述储液槽一侧外壁安装有控制器。本实用新型通过设置液位上升时,利用连通器原理将空气带动活塞上升,避免酸性液体与活塞和第一触点、第二触点接触,减少出现腐蚀,延长使用寿命。

基本信息
专利标题 :
一种光伏硅片湿洗工艺酸刻蚀添加剂补液装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920661440.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-05-09
授权号 :
CN209843736U
授权日 :
2019-12-24
发明人 :
张震华
申请人 :
绍兴拓邦电子科技有限公司
申请人地址 :
浙江省绍兴市绍兴袍江教育路66-9号B432室
代理机构 :
长沙新裕知识产权代理有限公司
代理人 :
赵登高
优先权 :
CN201920661440.X
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L21/306  C23F1/08  C23F1/24  
法律状态
2022-03-22 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : H01L 31/18
变更事项 : 专利权人
变更前 : 绍兴拓邦电子科技有限公司
变更后 : 绍兴拓邦新能源股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 312353 浙江省绍兴市绍兴袍江教育路66-9号B432室
变更后 : 312000 浙江省绍兴市斗门街道三江东路22号8幢车间13-1
2019-12-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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