一种刻蚀装置用带液滚轮及刻蚀装置

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摘要

本实用新型公开了一种刻蚀装置用带液滚轮及刻蚀装置，其属于光伏电池生产设备技术领域；该刻蚀装置用带液滚轮，包括：滚轮基体，能够绕自身轴线旋转，所述滚轮基体为中空结构且内部具有柱形的容纳腔，所述滚轮基体的外周面设有呈螺旋状排布的支撑齿，所述支撑齿的顶面为圆弧面；滚轮内衬，所述滚轮内衬为与所述容纳腔相适配的柱形结构，所述滚轮内衬设于所述容纳腔内且能够随所述滚轮基体转动。刻蚀装置上设有上述的刻蚀装置用带液滚轮。本实用新型能够在刻蚀过程中对硅片提供稳定支撑，降低生产成本，使得硅片的刻蚀更加均匀，提高刻蚀质量。

基本信息

专利标题：

一种刻蚀装置用带液滚轮及刻蚀装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922254490.9

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-16

授权号：

CN210692567U

授权日：

2020-06-05

发明人：

张临安邓伟伟

申请人：

苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市高新区鹿山路199号

代理机构：

北京品源专利代理有限公司

代理人：

胡彬

优先权：

CN201922254490.9

主分类号：

H01L31/18

IPC分类号：

H01L31/18 H01L21/67