一种化学水浴喷淋布液装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种化学水浴喷淋布液装置，用于储存药液的储存罐，其内部伸入有导管，导管上安装有主磁浮泵和加热器；缓冲罐，缓冲罐与储存罐之间通过导管连通；多根导液管，其一端与缓冲罐连通，其中，每根导液管上安装有副磁浮泵和流量计，多个导液管的另一端均分别连接有布液刀；多个布液刀相互连接组成布液装置。本实用新型提高药液布液均匀性；布液刀上带有角度盘，可根据实际工艺需求调整布液刀角度，达到药液布液均匀的目的；加热器对药液进行预热，减少药液在衬底上的加热时间，降低药液与衬底之间的温度差，加快络合反应和沉积反应；可有效控制液流量的精准度，同时对药液进行加压，使布液刀上每个喷淋孔有持续的药液喷出。
基本信息
专利标题 ：
一种化学水浴喷淋布液装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920676625.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-13
授权号 ：
CN210098075U
授权日 ：
2020-02-21
发明人 ：
张焓陈培专李劼魏昌华高翔
申请人 ：
绵阳金能移动能源有限公司
申请人地址 ：
四川省绵阳市涪城区凤凰中路8号
代理机构 ：
北京远大卓悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
贾晓燕
优先权 ：
CN201920676625.8
主分类号 ：
B05C5/00
IPC分类号 ：
B05C5/00 B05C11/10
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05C
一般对表面涂布流体的装置
B05C5/00
将液体或其他流体物质喷射，灌注或让其流到工件表面的装置
法律状态
2020-02-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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